고진공 L형밸브(앵글밸브:성형 벨로우즈축 실:16A～65A)

형식 표시방법／ORDERING NUMBER DESCRIPTION

※1:수동형은 5만회
※2:LX시리즈는 수동형을 포함하고 있지 않습니다.
*1: 50,000 repetitions for manual type.
*2: LX Series does not include a manual type.
기호
Symbol		 수명회수
Repetition life
기입않음
No entry		 10만회※1
100,000 repetitions (*1)
LX 100만회※2
1 million repetitions (*2)
앵글밸브의 기호
Angle valve symbol
기호
Symbol		 형식
type
D 자동형, 복동형
Automatic,double-action
C 자동형, 단동(노말클로즈)
Automatic, single-acting
(normally closed)
O 자동형, 단동(노말오픈)）
Automatic, single-acting
(normally open)
M 수동형
Manual
형식 표시방법
기호
Symbol		 플랜지 종류
Flange types
1 NW-KF플랜지
NW-KF flange
2 콘플랫 플랜지※
con-flat flange
3 JIS(VG,VF)플랜지
JIS(VG,VF) flange
※일측고정, 일측회전
* One-side stationary,one-side rotating
기호
Symbol		 플랜지 종류
Flange types
16 ●NW-KF 플랜지
●NW-KF flange
●JIS(VG,VF)플랜지
●JIS(VG,VF) flange
25
40
50
60(63)
70 콘플랫 플랜지
con-flat flange
114
기호
Symbol		 부속품
accessories
0 부속품 없음
None
1 전자밸브, 근접스위치부속
With solenoid valves,proximity switch
2 전자밸브부속
With solenoid valves
3 近接スイッチ付き
With proximity switch

주1)　옵션으로 전자밸브가 필요한 경우는 반드시 사용할 전원의 사양을 명시해주세요.
Note 1） Be sure to specify power supply specifications if you need an optional solenoid valve.

사양／Specifications

사용압력
Working pressure		 대기압 ～ 1×10-6 Pa Atmospheric temperature to 1 x 10(-6) Pa
누출량
Leak volume		 ＜1×10-10 Pa･m3/s Below 1 x 10(-10) Pa・m3/s
수명회수
Repetition life		 □FLV(자동)　10만회
□FLV(수동) 5만회
LX-□FLV(자동)100만회		 FLV (automatic) 100,000 repetitions
FLV (manual) 50,000 repetitions
LX- FLV (automatic) 1 million repetitions
조작압력
Operating pressure		 0.5～0.6MPa(자동) 0.5 to 0.6 MPa (automatic)
베이크아웃 온도
(내열온도)
Bake-out temperature
(heat endurance limit)		 밸브바디　120℃（MAX）
공압 액추에이터 65℃（MAX）
전자밸브 부속시　50℃（MAX)		 Valve body 120℃（MAX）
Pneumatic actuator 65℃（MAX）
In the case of those with solenoid valve50℃（MAX）
주요구성재료
Main materials		 밸브바디：SUS304
벨로우즈：SUS316L(□FLV)
하스텔로이 C-22(LX-□FLV)
실린더:알루미늄
밸브시트실：FKM(바이톤®)
보닛실：FKM(바이톤®)		 Valve body:SUS304
Bellows:SUS316L(□FLV)
Hastelloy C-22(LX-□FLV)
Cylinder: Aluminum
Valve seat seal: FKM(Viton®)
Bonnet seal: FKM(Viton®)

주요부 명칭／Name of main parts

기술데이터／Technical data

컨덕턴스
conductance		 형식
type		 16A 25A 40A 50A (63A)
65A
□FLV 4l/sec 10l/sec 32l/sec 70l/sec 107l/sec
LX-□FLV 3l/sec 9l/sec 27l/sec 52l/sec 93l/sec

자동(복동, 단동[노말오픈, 클로즈])

■WITH NW-KF FLANGES
1FLV SERIES・LX-1FLV SERIES		 ■WITH CF FLANGES
2FLV SERIES・LX-2FLV SERIES		 ■WITH JIS FLANGES
3FLV SERIES・LX-3FLV SERIES
1FLV의 화상 2FLV의 화상 3FLV의 화상

외관도/Schematic diagram

1FLV의 외관도 2FLV의 외관도 3FLV의 외관도

치수표(자동형:복동D, 단동C[노말클로즈], 단동O[노말오픈])

Model No. A B C D E F φH φJ K N-φh weight
(kg)		 도면
DXF PDF
(LX)1FLV -16D.C.O 132.5 93 47 50 22.5 40 40 30 - - 0.7 dxf pdf
" -25D.C.O 141.5 101.5 59 62 24.5 50 54 40 - - 1.1 dxf pdf
" -40D.C.O 168 117.5 81 84.5 33 65 76 55 - - 2.1 dxf pdf
" -50D.C.O 186.5 128.5 92 92 39 70 89 75 - - 3.3 dxf pdf
" -63D.C.O 229 163.5 110 110 45.5 88 110 87 - - 8.4 dxf pdf
(LX)2FLV -70D.C.O 173 122.5 81 84.5 33 70 76 69.3 58.7 6-6.6 2.5 dxf pdf
" -114D.C.O 201.5 143.5 92 92 39 85 89 113.5 92.2 8-8.5 5.2 dxf pdf
(LX)3FLV- -25D.C.O 151.5 111.5 59 62 24.5 60 54 90 70 4-10 1.8 dxf pdf
" -40D.C.O 173 122.5 81 84.5 33 70 76 105 85 4-10 3.2 dxf pdf
" -50D.C.O 199.5 141.5 92 92 39 83 89 120 100 4-10 4.5 dxf pdf
" -63D.C.O 241 175.5 110 110 45.5 100 110 145 120 4-12 9.8 dxf pdf

수동(수동형：M／Manual: M）

■WITH NW-KF FLANGES
1FLV SERIES		 ■WITH CF FLANGES
2FLV SERIES		 ■WITH JIS FLANGES
3FLV SERIES
1FLVM의 화상 2FLVM의 화상 3FLVM의 화상

외관도/Schematic diagram

1FLVM의 외관도 2FLVM의 외관도 3FLVM의 외관도

치수표(수동형：M／Manual: M）

Model No. A B φH φD E F φJ K N-φh weight
(kg)		 도면
DXF PDF
1FLV -16M 124.5 47 40 43 6 40 30 - - 0.6 dxf pdf
" -25M 136 59 54 43 8 50 40 - - 1.0 dxf pdf
" -40M 163 81 76 60 15 65 55 - - 1.6 dxf pdf
" -50M 176.5 92 89 60 20 70 75 - - 2.5 dxf pdf
" -63M 204.5 110 110 60 25 88 87 - - 6.6 dxf pdf
2FLV -70M 168 81 76 60 15 70 69.3 58.7 6-6.6 2.1 dxf pdf
" -114M 191.5 92 89 60 20 85 113.5 92.2 8-8.5 4.4 dxf pdf
3FLV -25M 146 59 54 43 8 60 90 70 4-10 1.6 dxf pdf
" -40M 168 81 76 60 15 70 105 85 4-10 2.7 dxf pdf
" -50M 189.5 92 89 60 20 83 120 100 4-10 3.8 dxf pdf
" -63M 216.5 110 110 60 25 100 145 120 4-12 8.0 dxf pdf

Products guidance

진공밸브 진공밸브
Vaccum valves
사각형 게이트밸브
원형 게이트밸브
대형 게이트밸브(사각형)
L형밸브(앵글밸브)