벨로우즈(Bellows)의 이리에코켄 이미지

진공밸브란?
What is the vacuum valve ?

진공밸브(Vacuum Valve)」」란, 진공밸브란, 진공과 진공, 진공과 대기를 격리하기 위해 사용하는 것입니다.

디스플레이나 반도체 기판을 제작할 때에 각종 공정을 격리하기 위해서 사용하는 것 이외에도, 진공챔버와 진공펌프 사이에 배치하여 진공챔버의 압력을 조정하기 위해서도 사용합니다.

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真空バルブ진공밸브
Vaccum valves
사각형 게이트밸브
원형 게이트밸브
대형 게이트밸브(사각형)
L형밸브(앵글밸브)