원형 게이트밸브｜제품안내｜이리에코켄 주식회사

원형 게이트밸브Round type gate valve제품카탈로그

초대형 원형 고진공 게이트밸브(φ500ｍｍ까지 대응)SWELL MARINA

원형 게이트밸브

개요

MARINA는 안정된 밀봉성능을 지니며, 심플한 구조, 컴팩트한 디자인의 원형 진자식 밸브입니다.
반도체 제조장치부터, 대형 FPD, 유기 EL제조장치까지 대응하고 있습니다.

특징

차압 캔슬 기구를 채용
안정된 밀봉성능
스웰 게이트 구조를 채용하고 있으므로, 역압밀봉에 대해서도 안정된 밀봉성능을 확보할 수 있습니다.
박형 경량
밀봉 개구의 대형화가 용이
구동 에어 소비 저감
Ｏ링의 점착에 의한 고장 리스크 경감
적은 파티클
슬라이딩부가 적으므로 파티클 발생이 적으며, 챔버내를 깨끗한 상태로 유지할 수 있습니다.
용이한 메인터넌스
메인터넌스용 커버를 설치하여 용이하게 밸브 본체 유닛을 분리한 후, O링을 용이하게 교체할 수 있다.

원형 게이트밸브의 개관도

구경	형식	Ａ	Ｂ	Ｃ	Ｄ	Ｅ
250	M-250J(S)-2(3)	460	655	100	134.5	250
320	M-320J(S)-2(3)	555	790	120	129.5	320
400	M-400J(S)-2(3)	630	944	135	129	400
500	M-500J(S)-2(3)	816	1180	160	146	500

사양

개구직경	～φ500mm
사용압력범위	대기압～5.0×10^-6Pa
헬륨 누출량	본　　　체：1×10^-10Pa･m³/ｓ以下
헬륨 누출량	밀봉판：5×10^-10Pa･m³/ｓ以下
개방동작시의 차압圧	1000Pa以下
수명	Lock／Free　동작　100만회 Open／Close　동작　100만회
재질	밸브케이싱유닛ト：ＡＣ４Ｃ－Ｔ６
	밀봉판：Ａ５０５２
	벨로우즈：ＳＵＳ３１６Ｌ
	Ｏ링：ＦＫＭ（Viton）®
장착자세	밀봉면이 『천정』 또는 『지면』
베이킹온도	밸브케이싱：Max120℃ 구동부：Max60℃
에어공급압력	Lock／Free용 포트　0.5±0.05MPa Open／Close용 포트　0.5±0.05MPa<
에어배관직경	Lock／Free　　6mm Open／Close　 6mm
동작시간	Lock／Free　　약1.0s Open／Close　 약3.0s

진공밸브 Vaccum valves: 사각형 게이트밸브; 원형 게이트밸브; 대형 게이트밸브(사각형); L형밸브(앵글밸브)