真空ベローズの入江工研株式会社ベローズ、真空バルブ、真空配管
2023年5月26日、(一社)日本真空工業会（略称ＪＶＩＡ）より当社開発の「無酸素Pd/Ti非蒸発型ゲッター（NEG)を蒸発したステンレス製フランジ及びベローズ」のテーマにより2022年度（一社）日本真空工業会表彰『イノベーション賞』を受賞致しました。
受賞者（加藤良浩）コメントは以下の通りです。
この度はイノベーション賞という大変栄誉ある賞を頂き、誠に有難うございます。審査委員の皆様方には、この場を借りて厚くお礼申し上げます。
今回の受賞は「無酸素Pd/Ti 非蒸発型ゲッター(NEG)を蒸着したステンレス製フランジ及びベローズ」です。無酸素Pd/Ti蒸着NEGは従来の合金製のNEGとは異なる特性を持つものであり、産業応用に最適化された技術です。2023年日本表面真空学会において、学会賞を受賞された、KEK間瀬教授によって立案されたPd/Ti (NEG)方式を採用し、フランジ・ベローズへコーティング蒸着する事で、国産(NEG)としての汎用性の高い製品が出来ました。
今後はこの技術を世界に発信するべく、我々はより排気特性が高く再活性化が容易なNEG開発を進めて行きます。今後ともご支援の程、宜しくお願いします。
（写真）
辻村会長より授与された受賞風景：加藤良浩/執行役員技師長、矢部学/テクニカルセンター開発グループ長（欠席）、狩野悠/テクニカルセンター
日本真空工業会発行 真空ジャーナル 2023年7月 185号 はこちら
無酸素Pd/Ti コートベローズのカタログ
加速器学会（第17回から第19回）発表動画はこちら
