2013年 超モノづくり部品大賞 『奨励賞』 受賞

弊社の「FFT_Valve」がモノづくり日本会議及び日刊工業新聞社(経済産業省、日本商工会議所後援)による「2013年 超モノづくり部品大賞」の奨励賞を受賞いたしました。本賞はモノづくりの競争力の源泉で、縁の下の力持ちである部品・部材にスポットをあて日本の産業・社会を支える重要な役割を果たしている部品に贈られるものです。11月20日(水)、ヒルトン東京において授賞式が行われました。10周年記念の節目であること、また過去最高の120件の応募の中から選ばれたことは大変光栄であり、弊社の技術力が評価されたことに感謝致します。

「FFT_Valve」はフィルム状のフレキシブル基板を量産する際の真空蒸着装置などに対応したバルブです。大気環境、もしくは低真空環境に置かれたロール状に巻かれたフィルムを、高真空のプロセス室に導入し、その出入口でフィルムを挟んでプロセス室の高真空状態を保つ技術を実現致しました。「FFT_Valve」内部に差動排気機構を組み込むことで、高真空側から大気側に弁体を封止する逆圧にも対応しています。フィルム出入口(仕切)のシール形状及びシール材の工夫で密閉性を高めながら、シール材の粘着性を抑えて「FFT_Valve」解放時におこるフィルムのバタつきを低減し、スムーズにフィルムを送り込むことができるようになりました。フィルムの巻取り部分を大気中に置くこともできるため、真空プロセスチャンバーの小型化を実現するとともに、フィルムロール交換の際も、プロセス室を高真空に保つことができ、巻取り部の調整やロール交換作業が簡単になり、ロール交換後の装置立ち上げ時間の短縮に貢献できます。

タッチパネル用透明導電膜(ITO)、有機EL照明市場、フレキシブルディスプレイ、有機薄膜太陽電池など量産設備向けバルブとして市場投入して参ります。

Press release

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