ベローズ式回転導入機Rotary manipulator製品カタログ

本ベローズ式回転導入機は高精度回転導入機とコンパクト回転導入機があり、大気側から真空側へ回転運動を伝えるためのユニットです。真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、高真空領域までご使用いただけます。
回転位置決め精度(無負荷時)が2°±0.5°のコンパクト回転導入機と、0.5°の高精度回転導入機の2タイプをご用意致しております。

コンパクト回転導入機の写真

特徴

外観図(IRC)

回転導入機の図面

共通仕様

型式 IRC-34 IRC-70 IRP-70
駆動方法 手動
リーク量 1×10-10Pa・m3/s以下
ベーキング温度 150℃以下 120℃以下
使用主材料 SUS304
ベローズ材質 SUS316L
回転寿命 100,000回

ベローズシール回転導入機リストRotary motional vacuum manipulators list

機種名 型式 接続
フランジ
先端軸径 回転位置
決め精度
(無負荷時)
製品図面
ダウンロード
コンパクト回転導入機
仕様詳細
IRC-34 CF34 φ6(f6) 2°±0.5° pdf形式
dxf形式
IRC-70 CF70 φ8(f6) pdf形式
dxf形式
高精度回転導入機
仕様詳細
IRP-70 CF70 φ10(e7) 0.5°±0.05° pdf形式
dxf形式

<ご注文に際して>
詳しい仕様、寸法につきましては製品カタログでもご紹介させていただいております。
製品に関しての納期、価格、その他ご質問のお問い合わせはこちらまでお願い致します。
上記規格品以外にも、お客様のご要求により個別設計・製作も対応致します。お気軽にご相談下さい。

Products guidance

金属ベローズ 金属ベローズ
Metal bellows
溶接ベローズ
成形ベローズ
フレキシブルチューブ
真空バルブ 真空バルブ
Vaccum valves
角型ゲートバルブ
丸型ゲートバルブ
大型ゲートバルブ(角型)
L型バルブ(アングルバルブ)
真空配管 真空配管部品
Vacuum line parts
クランプ
フランジ付きパイプ
パイプパーツ
フレキシブルチューブ
L型バルブ(アングルバルブ)
真空チャンバー 真空チャンバー
Vacuum chamber
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導入機 導入機
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