丸型ゲートバルブRound type gate valve製品カタログ

超大型丸型高真空ゲートバルブ(φ400mmまで対応)SWELL MARINA

丸型ゲートバルブ

概要

MARINAは安定したシ-ル性能を持ち、シンプルな構造、コンパクトなデザイン丸型・振り子式バルブです。
半導体製造装置から、大型FPD、有機EL製造装置まで対応致します。

特徴

丸型ゲートバルブの概観図

口径 型式
250 M-250J(S)-2(3) 460 655 100 134.5 250
320 M-320J(S)-2(3) 555 790 120 129.5 320
400 M-400J(S)-2(3) 630 944 135 129 400

仕様

開口径 ~φ400mm
使用圧力範囲 大気圧~5.0×10-6Pa
ヘリウムリーク量 本   体:1×10-10Pa・m3/s以下
シール版:5×10-10Pa・m3/s以下
開動作時の差圧 1000Pa以下
寿命 Lock/Free  動作 100万回
Open/Close 動作 100万回
材質 弁箱ユニット:AC4C-T6
シール板:A5052
ベローズ:SUS316L
Oリング:FKM(Viton)®
取付姿勢 シール面が『天』又は『地』
ベーキング温度 弁箱:Max120℃
駆動部:Max60℃
エアー供給圧 Lock/Free用ポート 0.5±0.05MPa
Open/Close用ポート 0.5±0.05MPa
エアー配管径 Lock/Free  6mm
Open/Close  6mm
動作時間 Lock/Free  約1.0s
Open/Close  約3.0s

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