丸型ゲートバルブRound type gate valve製品カタログ

超大型丸型高真空ゲートバルブ(φ400mmまで対応)SWELL MARINA

丸型ゲートバルブ

概要

MARINAは安定したシ-ル性能を持ち、シンプルな構造、コンパクトなデザイン丸型・振り子式バルブです。
半導体製造装置から、大型FPD、有機EL製造装置まで対応致します。

特徴

丸型ゲートバルブの概観図

口径 型式
250 M-250J(S)-2(3) 460 655 100 134.5 250
320 M-320J(S)-2(3) 555 790 120 129.5 320
400 M-400J(S)-2(3) 630 944 135 129 400

仕様

開口径 ~φ400mm
使用圧力範囲 大気圧~5.0×10-6Pa
ヘリウムリーク量 本   体:1×10-10Pa・m3/s以下
シール版:5×10-10Pa・m3/s以下
開動作時の差圧 1000Pa以下
寿命 Lock/Free  動作 100万回
Open/Close 動作 100万回
材質 弁箱ユニット:AC4C-T6
シール板:A5052
ベローズ:SUS316L
Oリング:FKM(Viton)®
取付姿勢 シール面が『天』又は『地』
ベーキング温度 弁箱:Max120℃
駆動部:Max60℃
エアー供給圧 Lock/Free用ポート 0.5±0.05MPa
Open/Close用ポート 0.5±0.05MPa
エアー配管径 Lock/Free  6mm
Open/Close  6mm
動作時間 Lock/Free  約1.0s
Open/Close  約3.0s

Products guidance

金属ベローズ 金属ベローズ
Metal bellows
溶接ベローズ
成形ベローズ
フレキシブルチューブ
真空バルブ 真空バルブ
Vaccum valves
角型ゲートバルブ
丸型ゲートバルブ
大型ゲートバルブ(角型)
L型バルブ(アングルバルブ)
真空配管 真空配管部品
Vacuum line parts
クランプ
フランジ付きパイプ
パイプパーツ
フレキシブルチューブ
L型バルブ(アングルバルブ)
真空チャンバー 真空チャンバー
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