真空機器(導入機)Vacuum components (Vacuum feedthrough)製品カタログ

入江工研の各種導入機は、高真空領域まで使用可能です。(ベローズ式直進(直線)導入機は超高真空まで使用可能)ベローズ式のタイプについては高信頼性の自社製金属溶接ベローズを使用しております。

記載しております規格品以外にもお客様のご要望に応じて、個別設計・製作も致します。お気軽にお問い合わせ下さい。

ベローズ式直進(直線)導入機Linear manipulator

入江工研の直進(直線)導入機は、高信頼性の溶接ベローズを内蔵し長ストロークを可能にした直進(直線)導入機です。 また、各サイズ共に手動と自動のタイプをご用意致しました。

ベローズ式回転導入機Rotary manipulator

入江工研のベローズ式回転導入機は高精度回転導入機とコンパクト回転導入機があり、大気側から真空側へ回転運動を伝えるためのユニットです。真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、高真空領域までご使用いただけます。

磁気結合式導入機Magnetic manipulator

強力な永久磁石を用いた磁気カップリング方式の導入機構です。回転導入と直進(直線)回転導入の2タイプをご用意しており、モーター駆動にも対応可能です。

IKC導入機ラインナップ

名称 接続フランジ 型式
ベローズ式直進(直線)導入機
直線導入機の写真
コンパクト CF34 ILC-34
手動 CF34 ILD-34M
CF70 ILD-70M
CF114 ILD-114M
自動
(モーター駆動)
CF70 ILD-70A
CF114 ILD-114A
CF152 ILD-152A
CF203 ILD-203A
ベローズ式回転導入機
回転導入機の写真
標準 CF34 IRC-34
CF70 IRC-70
高精度 CF70 IRP-70
磁気結合式直進回転導入機
磁気結合式直進回転導入機の写真
CF70 MFL-70
CF114 MFL-114
磁気結合式回転導入機
磁気結合式回転導入機の写真
CF34 MFR-34
CF70 MFR-70
※ベローズ中空導入機
ベローズ中空導入機の写真
高剛性 CF34 ILHA-34
CF70 ILHA-70
CF114 ILHA-114
コンパクト CF34 ILHB-34
CF70 ILHB-70
※XYテーブル
XYテーブルの写真
XY調整のみ CF70 TSL-70
CF114 TSL-114
CF152 TSL-152
XY調整
+角度調整
CF70 TSN-70
CF114 TSN-114
CF152 TSN-152
※シャッター
シャッターの写真
手動 CF70 RCS-70
CF114 RCS-114
CF152 RCS-152
CF203 RCS-203
自動
(エアー駆動)
CF70 ARS-70
CF114 ARS-114
CF152 ARS-152
CF203 ARS-203

Products guidance

金属ベローズ金属ベローズ
Metal bellows
溶接ベローズ
成形ベローズ
フレキシブルチューブ
真空バルブ真空バルブ
Vaccum valves
角型ゲートバルブ
丸型ゲートバルブ
大型ゲートバルブ(角型)
L型バルブ(アングルバルブ)
真空配管真空配管部品
Vacuum line parts
クランプ
フランジ付きパイプ
パイプパーツ
フレキシブルチューブ
L型バルブ(アングルバルブ)
真空チャンバー真空チャンバー
Vacuum chamber
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導入機導入機
Feedthroughs
直進(直線)導入機
回転導入機
磁気結合式導入機
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