型式 | IRC-34 | IRC-70 | |
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接続フランジ | CF34 | CF70 | |
駆動方法 | 手動 | ||
回転位置決め精度 | 2°±0.5 | ||
回転寿命 | 100,000回 | ||
リーク量 | 1×10-10Pa・m3/s以下 | ||
ベーキング温度 | 150℃以下 | ||
使用主材料 | SUS304 | ||
ベローズ材質 | SUS316L | ||
主要寸法 | A | 70 | 70 |
B | 89.4 | 125.0 | |
C | 7.0 | 9.5 | |
D | 20 | 25 | |
φE(f6) | 6 | 8 | |
F | 5.0 | 6.8 | |
φG | 18 | 26 | |
φH | 27.2 | 38.0 | |
φI | 31.8 | 41.6 | |
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