真空機器の入江工研株式会社直進導入機、回転導入機、磁気結合式導入機
入江工研の各種導入機は、高真空領域まで使用可能です。(ベローズ式直進（直線）導入機は超高真空まで使用可能）ベローズ式のタイプについては高信頼性の自社製金属溶接ベローズを使用しております。
記載しております規格品以外にもお客様のご要望に応じて、個別設計・製作も致します。お気軽にお問い合わせ下さい。
入江工研の直進(直線)導入機は、高信頼性の溶接ベローズを内蔵し長ストロークを可能にした直進(直線)導入機です。 また、各サイズ共に手動と自動のタイプをご用意致しました。
入江工研のベローズ式回転導入機は高精度回転導入機とコンパクト回転導入機があり、大気側から真空側へ回転運動を伝えるためのユニットです。真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、高真空領域までご使用いただけます。
強力な永久磁石を用いた磁気カップリング方式の導入機構です。回転導入と直進(直線)回転導入の２タイプをご用意しており、モーター駆動にも対応可能です。
| 名称 | 接続フランジ | 型式 | |
|---|---|---|---|
ベローズ式直進(直線)導入機 |
コンパクト | CF34 | ILC-34 |
| 手動 | CF34 | ILD-34M | |
| CF70 | ILD-70M | ||
| CF114 | ILD-114M | ||
| 自動 (モーター駆動) |
CF70 | ILD-70A | |
| CF114 | ILD-114A | ||
| CF152 | ILD-152A | ||
| CF203 | ILD-203A | ||
ベローズ式回転導入機 |
標準 | CF34 | IRC-34 |
| CF70 | IRC-70 | ||
| 高精度 | CF70 | IRP-70 | |
磁気結合式直進回転導入機 |
CF70 | MFL-70 | |
| CF114 | MFL-114 | ||
磁気結合式回転導入機 |
CF34 | MFR-34 | |
| CF70 | MFR-70 | ||
※ベローズ中空導入機 |
高剛性 | CF34 | ILHA-34 |
| CF70 | ILHA-70 | ||
| CF114 | ILHA-114 | ||
| コンパクト | CF34 | ILHB-34 | |
| CF70 | ILHB-70 | ||
※ＸＹテーブル |
XY調整のみ | CF70 | TSL-70 |
| CF114 | TSL-114 | ||
| CF152 | TSL-152 | ||
| XY調整 ＋角度調整 |
CF70 | TSN-70 | |
| CF114 | TSN-114 | ||
| CF152 | TSN-152 | ||
※シャッター |
手動 | CF70 | RCS-70 |
| CF114 | RCS-114 | ||
| CF152 | RCS-152 | ||
| CF203 | RCS-203 | ||
| 自動 (エアー駆動) |
CF70 | ARS-70 | |
| CF114 | ARS-114 | ||
| CF152 | ARS-152 | ||
| CF203 | ARS-203 | ||
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