入江工研株式会社

性能、品質はそのままで、「余分」だけを取り除いた究極の矩形ベローズが完成

解決策がなかなか見出せない担当チームは、半導体製造装置を製造している部署に相談してみた。すると「ベローズとバルブを一緒に製作している、国内唯一のメーカーの入江工研に相談してみては」と、営業担当を紹介してくれた。早速この担当者に相談したところ、「新製品の、廉価版の矩形ベローズを一度評価して欲しい」という申し入れが返ってきた。
営業担当によるとこの新製品は、バルブとチャンバーを知り尽くした入江工研が、従来の矩形ベローズに比べて誤差吸収の柔軟性と解析結果から得られた強度を維持しつつ、さらに金属材料にもこだわり、徹底的な最適化と装置機器との適合性を重視した設計を施した。その結果、重量とコストを共に35%ダウンすることができたのであった。

実装テストを行ったところ、装着したチャンバーとバルブの10箇所全てにおいて、取り付け誤差をうまく吸収し、作動中のリークや振動によるズレも見られなかった。また、検査機器を使った詳細なテストでも、全て合格値となった。廉価版でありながら定評のある溶接技術で十分な耐久性が確認できた。
一方、課題であったコストダウンについても、ベローズ単体のコストが35%も削減されたことで、配管ユニット全体のコストダウンを実現。そのことを購買部門にアピールできたことで、滞りなく購入の承諾を得ることができ、希望納期までにシステムを納めることができた。

この矩形ベローズは、性能はそのままにお客様の仕様に合わせて口径サイズを自由にカスタマイズできることから、大型FPDや有機ELなどの製造装置にも柔軟に対応でき、コストの優位性もあることからD社では標準品として継続採用することが決まった。