入江工研とは

真空機器の開発・
研究に貢献します

真空技術をベースにしたベローズ・バルブの開発・製造技術を活かし、半導体製造装置をはじめとした機器の開発・研究に貢献します

入江工研は、高精度な金属ベローズと、真空技術を活かした真空機器（真空ベローズ、真空バルブ、真空チャンバーなど）を開発・製造するメーカーです。

低コストに採用できる「成形ベローズ」、高度な溶接技術で高い伸縮性を備えた「溶接ベローズ」のどちらの製造にも対応しています。当社の金属ベローズは、半導体・液晶・真空機器をはじめ、加速器・核融合・鉄道などの幅広い分野で、気体・流体を気密封止するシール用部材として使用されています。

真空バルブには高いシール性が要求されます。試行錯誤を繰り返しながら培ってきた当社の強み「真空技術」を製品に生かしています。
また、基板の大型化に伴うバルブ開口サイズの大型化の要求に対応することで、大型バルブの製造で多くのシェアを確立しています。

ベローズ製造で培った溶接・加工技術と、真空のノウハウを融合し、真空チャンバーなどの真空機器の製造を承ります。高度な溶接技術・加工技術を活かし、お客様の要求性能に応える真空機器を製造します。

入江工研は国が推進する数々の科学実験施設に、特殊な金属ベローズをはじめ、各種真空機器を提供を提供してきました。そこで得られた貴重な研究成果は、多様な製品にフィードバックされています。

半導体製造装置に使用する真空ベローズや真空バルブには、パーティクルの発生を防ぎながら、真空中で稼働するという高度な性能が求められます。

入江工研では、埼玉県に主にバルブの研究拠点であるテクニカルセンターを、愛媛県に高度な加工能力・溶接技術を誇るベローズ・真空機器の製造工場を有しており、付加価値の高い製品を生み出すことができる設計・製作・検査体制を築いています。お客様の要求仕様に応じた製品のカスタマイズも対応可能です。

高精度が要求される半導体製造装置の部材は定期的なメンテナンスや交換が不可欠です。
入江工研では、製品を採用していただいたお客様へのアフターサポートを大切にしており、定期的な部品の交換、洗浄、検査のほか、製造工程の課題を解決する改善・改良のご提案もいたします。

海外工場で使用している部品・機器の交換・メンテナンスにも対応しています。

入江工研は、フラットパネルディスプレイ製造機器の３ｍ以上の大開口部に対応する大型バルブの製作で他社を寄せ付けない強みを持っています。10tを超える大気と真空の差圧をキャンセルする機構を独自に考案し、国内トップシェアを誇っています。

また、鉄道車両分野では、新幹線などの高速鉄道に当社の部品が採用されています。40年以上の長きにわたり大きなトラブルがなく、高い信頼のもと採用し続けていただいています。