多数の皆様にご来場いただき誠にありがとうございました。
- 半導体用ゲートバルブ(低パーティクルに対応)
コスラーズⅡシリーズの新機種として、微細化に対応した製品を展示致します。 200万回寿命、低振動、低パーティクル仕様に対応しています。(現品展示)
- Pd/Tiコートベローズ
高エネルギー加速器研究機構の間瀬一彦准教授との共同研究により、非蒸発ゲッター性能を有する成形ベローズを開発しています。研究レベルではありますが到達圧力は6.1×10-8 Paを実現しています。サンプルを出展いたしますので是非お立ち寄りください。(参考出品)
- 昇降用溶接ベローズ
半導体・液晶・真空機器をはじめとし、加速器・核融合・鉄道・医療等の幅広い分野で、気体・流体の気密封止のシール用部材とし使用されている溶接ベローズの自動昇降機構をご紹介します。(現品展示)
会 期: 2018年12/12(水)~14(金) 10:00~17:00
会 場: 東京ビッグサイト 東展示棟
当社ブース: 東5ホール 小間番号:5623
主 催: SEMI
詳しくはhttps://www.semiconjapan.orgをご確認ください。