VACUUM2018-真空展 出展

多数の皆様にご来場いただき誠にありがとうございました。



  • 半導体用ゲートバルブ(低パーティクルに対応)
    コスラーズⅡシリーズの新機種として、微細化に対応した製品を展示致します。 200万回寿命、低振動、低パーティクル仕様に対応しています。(現品展示)

  • Pd/Tiコートベローズ
    高エネルギー加速器研究機構の間瀬一彦准教授との共同研究により、非蒸発ゲッター性能を有する成形ベローズを開発しています。研究レベルではありますが到達圧力は6.1×10-8 Paを実現しています。サンプルを出展いたしますので是非お立ち寄りください。弊社のワークショップ(場所:B-1 日時:9月6日(木)13:00~13:30)でもご説明させて頂きます。

  • 搬送系システム(アルサスシステム)
    超高真空装置で培った当社の真空技術をもとに、導入機などの駆動機構をSUS/Alチャンバーに組込んだ搬送系システムとしてご紹介いたします。(現品展示)

  • 昇降用溶接ベローズ
    半導体・液晶・真空機器をはじめとし、加速器・核融合・鉄道・医療等の幅広い分野で、気体・流体の気密封止のシール用部材とし使用されている溶接ベローズの自動昇降機構をご紹介します。(現品展示)

会 期: 2018年9月5日(水)~7日(金) 10:00~17:00
会 場: パシフィコ横浜 
当社ブース: NO.V-108
主 催: (一社)日本真空工業会、(公社)日本表面真空学会、日刊工業新聞社
同時開催: 「難加工技術展」「表面改質展」「先進加工プロセス展」
詳しくはhttps://biz.nikkan.co.jp/eve/vacuumをご確認ください。

Press release

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