真空ベローズの入江工研株式会社ベローズ、真空バルブ、真空配管
多数の皆様にご来場いただき誠にありがとうございました。
- 半導体用ゲートバルブ（低パーティクルに対応)
コスラーズⅡシリーズの新機種として、微細化に対応した製品を展示致します。 200万回寿命、低振動、低パーティクル仕様に対応しています。（現品展示）
- Pd/Tiコートベローズ
高エネルギー加速器研究機構の間瀬一彦准教授との共同研究により、非蒸発ゲッター性能を有する成形ベローズを開発しています。研究レベルではありますが到達圧力は6.1×10-8 Paを実現しています。サンプルを出展いたしますので是非お立ち寄りください。弊社のワークショップ（場所:B-1 日時:9月6日（木）13:00～13:30）でもご説明させて頂きます。
- 搬送系システム（アルサスシステム）
超高真空装置で培った当社の真空技術をもとに、導入機などの駆動機構をSUS/Alチャンバーに組込んだ搬送系システムとしてご紹介いたします。（現品展示）
- 昇降用溶接ベローズ
半導体・液晶・真空機器をはじめとし、加速器・核融合・鉄道・医療等の幅広い分野で、気体・流体の気密封止のシール用部材とし使用されている溶接ベローズの自動昇降機構をご紹介します。（現品展示）
会 期： 2018年9月5日（水）～7日（金） 10:00～17:00
会 場： パシフィコ横浜
当社ブース： NO．V-108
主 催： （一社）日本真空工業会、（公社）日本表面真空学会、日刊工業新聞社
同時開催: 「難加工技術展」「表面改質展」「先進加工プロセス展」
詳しくはhttps://biz.nikkan.co.jp/eve/vacuumをご確認ください。
