FPD、PV製造装置用に超大型ゲートバルブ及び大口径ベローズを提供

ゲートバルブの開発ポリシーとして、 真空中には摺動部を持ち込まない思想を世界にさきがけて市場に投入して依頼、約20年“koslarze”ブランドを提供して参りました。

“GARIVA”シリーズでは、益々、大型化するパネル市場に応え、その独創的な差圧キャンセル機構採用により、逆圧時、開口面積に対する大きな面圧を最小限にする事で、よりコンパクト化、軽量化そしてコストダウンを実現致しました。開発以来、スパッタ、CVD装置(G6~G8基板サイズ)において多くの納入実績とその信頼性を確保して来ました。 その功績は、2004年に日本真空工業会“会長賞”受賞し、2006年には経済産業省“「中小企業優秀新技術・新製品賞」『優秀賞』”を受賞しております。

最近では、さらに大型化(G8~G11)する装置搭載に向け、より磨きをかけた逸品 として市場に供給しております。
また、それらの機種はPV市場にも拡大し、スパッタ、PECVD装置への対象機種として薄膜系シリコン、CIGS系(化合物系)にも納入を開始しました。

一方、大型溶接ベローズはロボットの昇降機構用に長尺ストロークに対応した伸縮スピードと超寿命、耐久性、コスト低減化に成功し、“高次元で気密する伸縮の達人”をキャッチコピーとして、市場に投入を開始しております。

日本真空工業会「会長賞」表彰状
第18回中小企業優秀新技術・新製品賞 表彰状
2004年 日本真空工業会「会長賞」表彰状
(差圧キャンセル弁の開発)
第18回中小企業優秀新技術・新製品賞 表彰状
(差圧キャンセル弁の開発)
GARIVA
GARIVA

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