角型ゲートバルブ/Rectangular type gate valve

コスラーズ2R ゲートバルブ/KOSLARZE-2R GATE VALVES

※製品の詳細・お見積りはこちらからご確認下さい。

有機EL製造真空製膜装置用に開発した高真空ゲートバルブの駆動部 部品数を削減し、部品配置の最適化により、メンテナンス性の向上を実現しました。
KOSLARZE-2R(KV-2R)は
広範囲な開口サイズへの対応も可能です。

概要

入江工研では、この度LTPS,OLED対応の高真空ゲートバルブを開発致しました。
カム方式によるOne-Action Valveの機構を採用し、徹底したコンパクト設計により、メンテナンス性向上を
実現致しました。450mm半導体製造装置を始め、大型液晶、太陽電池製造装置までの広範囲な開口サイズまで
KOSLARZE-2Rが対応致します。

特徴

  • パーティクルフリー
    無摺動機構の採用で、装置内を高度なハイクリーンな状態に保持致します。
  •  高いレベルのシール性能
    弁板シール部は独自の溝形状により、メタルコンタクトの防止などクリティカルなアプリケーション
    下でも安定したシール性能を確保致します。
  • イージーメンテナンス
    イージーメンテナンスを考慮して設計されております。弁箱付きタイプはメンテナンスフランジを上部
    に設けましたので、上部より弁板の脱着が可能になります。
  • 長寿命でハイレベルな品質
    自社独自に開発したベローズを搭載し、長寿命に対応した品質と信頼性を確保しました。

仕様

仕様圧力範囲 大気圧~1×10-6Pa
Heリーク量 本体:1×10-10Pa・m3/s以下
弁板:5×10-10Pa・m3/s以下
対応差圧力 逆圧、正圧、同圧
メンテナンスサイクル 1×106回(弁板O-ringは除く)
材質(弁箱、弁板) SUS、A5052

チャンバーに弁箱を取り付ける弁箱タイプと、弁板を装置チャンバー内にダイレクトに
マウントするダイレクトマウントタイプがございます。
詳しくは、弊社までお問い合せください。

製品に関しての詳しい仕様、寸法につきましてはこちらまでお願い致します。
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