角型ゲートバルブ/Rectangular type gate valve
コスラーズ2R ゲートバルブ/KOSLARZE-2R GATE VALVES
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- 有機EL製造真空製膜装置用に開発した高真空ゲートバルブの駆動部 部品数を削減し、部品配置の最適化により、メンテナンス性の向上を実現しました。
- KOSLARZE-2R(KV-2R)は
広範囲な開口サイズへの対応も可能です。
概要
- 入江工研では、この度LTPS,OLED対応の高真空ゲートバルブを開発致しました。
カム方式によるOne-Action Valveの機構を採用し、徹底したコンパクト設計により、メンテナンス性向上を
実現致しました。450mm半導体製造装置を始め、大型液晶、太陽電池製造装置までの広範囲な開口サイズまで
KOSLARZE-2Rが対応致します。
特徴
- パーティクルフリー
無摺動機構の採用で、装置内を高度なハイクリーンな状態に保持致します。 - 高いレベルのシール性能
弁板シール部は独自の溝形状により、メタルコンタクトの防止などクリティカルなアプリケーション
下でも安定したシール性能を確保致します。 - イージーメンテナンス
イージーメンテナンスを考慮して設計されております。弁箱付きタイプはメンテナンスフランジを上部
に設けましたので、上部より弁板の脱着が可能になります。 - 長寿命でハイレベルな品質
自社独自に開発したベローズを搭載し、長寿命に対応した品質と信頼性を確保しました。
仕様
仕様圧力範囲 | 大気圧~1×10-6Pa |
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Heリーク量 | 本体:1×10-10Pa・m3/s以下 弁板:5×10-10Pa・m3/s以下 |
対応差圧力 | 逆圧、正圧、同圧 |
メンテナンスサイクル | 1×106回(弁板O-ringは除く) |
材質(弁箱、弁板) | SUS、A5052 |
チャンバーに弁箱を取り付ける弁箱タイプと、弁板を装置チャンバー内にダイレクトに
マウントするダイレクトマウントタイプがございます。
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