型式 | MFR-34 | MFR-70 | |
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接続フランジ | CF34 | CF70 | |
駆動方法 | 手動(モーター駆動対応可) | ||
回転範囲 | 360° | ||
リーク量 | 1×10-9Pa・m3/s以下 | ||
ベーキング温度 | 120℃(磁石付) | ||
使用主材料 | 本体:SUS304・ハンドル:アルミニウム | ||
主要寸法 | A | 50 | 50 |
B | 100 | 165 | |
C | 34.7 | 55 | |
D | 12.0 | 12.5 | |
E | 20 | 20 | |
φF-0.01 -0.02 | 6 | 10 | |
G | 5 | 9 | |
φH | 18 | 40 | |
φI | 38 | 73 | |
φJ | 40 | 73 | |
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