ベローズ式直進(直線)導入機 モーター駆動タイプMoter-driven linear manipulator

ベローズ式直線(直進)導入機外観図

仕様製品カタログ

下記は基本仕様となります。ご注文時個別設計での対応となります。

型式について・・・型式末尾には必要なストロークを記入してください。

(例)ILD-40Aの50mmストローク : ILD-40A05

                                       
型式 ILD-70A ILD-114A
型式末尾 50 100 150 50 100 150
ストローク(mm) 50 100 150 50 100 150
接続フランジ CF70 CF114
駆動方法 モーター駆動
リーク量 1×10-10Pa・m3/s以下
ベーキング温度 -
使用主材料 SUS304
ベローズ材質 SUS316L
主要寸法 A 50~150 50~200 50~150 50~200
B 334459 345 465
C 96 101
D 152 165
φE 38 48
φF(g6) 12 16
G 20 35
H 7.0 12.5
φI(h7) 8 14
製品図面
ダウンロード
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型式 ILD-152A ILD-203A
型式末尾 100 150 200 100 150 200
ストローク(mm) 100 *150 *200 100 *150 *200
接続フランジ CF152 CF203
駆動方法 モーター駆動
リーク量 1×10-10Pa・m3/s以下
ベーキング温度 -
使用主材料 SUS304
ベローズ材質 SUS316L
主要寸法 A 50~150 50~150
B 330 330
C 107 107
D 170 170
φE 60 60
φF(g6) 24 24
G 35 35
H 20.0 20.0
φI(h7) 22 22
製品図面
ダウンロード
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*自動タイプ(ILD-70A,114A)ストローク 50mm及び(ILD-152A,203A)ストローク 150mm,200mmについては、個別設計対応となります。B長については、別途お問い合わせ下さい。

<ご注文に際して>
詳しい仕様、寸法につきましては製品カタログでもご紹介させていただいております。
製品に関しての納期、価格、その他ご質問のお問い合わせはこちらまでお願い致します。

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