真空バルブの入江工研株式会社真空バルブ、ゲートバルブ、Ｌ型バルブ
| ※1：手動型は5万回 ※2：LXシリーズに手動型は含みません。 *1: 50,000 repetitions for manual type. *2: LX Series does not include a manual type. |
||
| 記号 Symbol |
寿命回数 Repetition life |
|
|---|---|---|
| 無記入 No entry |
10万回※1 100,000 repetitions (*1) |
|
| LX | 100万回※2 1 million repetitions (*2) |
|
| アングルバルブの記号 Angle valve symbol |
|---|
| 記号 Symbol |
型式 type |
|---|---|
| D | 自動型、複動型 Automatic,double-action |
| C | 自動型、単動（ノーマルクローズ） Automatic, single-acting (normally closed) |
| O | 自動型、単動（ノーマルオープン） Automatic, single-acting (normally open) |
| M | 手動型 Manual |
| 記号 Symbol |
フランジ種類 Flange types |
|---|---|
| 1 | NW-KFフランジ NW-KF flange |
| 2 | コンフラットフランジ※ con-flat flange |
| 3 | JIS(VG,VF)フランジ JIS(VG,VF) flange |
| ※片側固定、片側回転 * One-side stationary,one-side rotating |
|
| 記号 Symbol |
フランジ種類 Flange types |
|---|---|
| 16 | ●NW-KFフランジ ●NW-KF flange ●JIS(VG,VF)フランジ ●JIS(VG,VF) flange |
| 25 | |
| 40 | |
| 50 | |
| 63(65) | |
| 70 | コンフラットフランジ con-flat flange |
| 114 |
| 記号 Symbol |
付属品 accessories |
|---|---|
| 0 | 付属品なし None |
| 1 | 電磁弁、近接スイッチ付き With solenoid valves,proximity switch |
| 2 | 電磁弁付き With solenoid valves |
| 3 | 近接スイッチ付き With proximity switch |
注1) 電磁弁をオプションとして付ける場合は、必ず使用する電源仕様を明示ください。
Note 1） Be sure to specify power supply specifications if you need an optional solenoid valve.
※お問い合わせはこちら
| 使用圧力 Working pressure |
大気圧 〜 1×10-6 Pa | Atmospheric temperature to 1 x 10(-6) Pa |
|---|---|---|
| リーク量 Leak volume |
＜1×10-10 Pa･m3/s | Below 1 x 10(-10) Pa・m3/s |
| 寿命回数 Repetition life |
□FLV(自動) 10万回 □FLV(手動) 5万回 LX-□FLV(自動)100万回 |
FLV (automatic) 100,000 repetitions FLV (manual) 50,000 repetitions LX- FLV (automatic) 1 million repetitions |
| 操作圧力 Operating pressure |
0.5〜0.6MPa（自動) | 0.5 to 0.6 MPa (automatic) |
| ベークアウト温度 （耐熱温度） Bake-out temperature (heat endurance limit) |
バルブボディ 120℃（MAX） ニューマチックアクチュエータ 65℃（MAX） 電磁弁付きの場合 50℃（MAX) |
Valve body 120℃（MAX） Pneumatic actuator 65℃（MAX） In the case of those with solenoid valve50℃（MAX） |
| 主要構成材料 Main materials |
バルブボディ：SUS304 ベローズ：SUS316L(□FLV) ハステロイ C-22(LX-□FLV) シリンダ：アルミニウム 弁座シール：FKM(バイトン®) ボンネットシール：FKM(バイトン®) |
Valve body:SUS304 Bellows:SUS316L(□FLV) Hastelloy C-22(LX-□FLV) Cylinder: Aluminum Valve seat seal: FKM(Viton®) Bonnet seal: FKM(Viton®) |
| コンダクタンス conductance |
型式 type |
16A | 25A | 40A | 50A | (63A) 65A |
|---|---|---|---|---|---|---|
| □FLV | 4l/sec | 10l/sec | 32l/sec | 70l/sec | 107l/sec | |
| LX-□FLV | 3l/sec | 9l/sec | 27l/sec | 52l/sec | 93l/sec |
| ■WITH NW-KF FLANGES 1FLV SERIES・LX-1FLV SERIES |
■WITH CF FLANGES 2FLV SERIES・LX-2FLV SERIES |
■WITH JIS FLANGES 3FLV SERIES・LX-3FLV SERIES |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
| Model No. | A | B | C | D | E | F | φH | φJ | K | N-φh | Approximate Weight(kg) |
図面 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| (LX)1FLV | -16D.C.O | 132.5 | 93 | 47 | 50 | 22.5 | 40 | 40 | 30 | - | - | 0.7 | 2D 3D |
| " | -25D.C.O | 141.5 | 101.5 | 59 | 62 | 24.5 | 50 | 54 | 40 | - | - | 1.1 | 2D 3D |
| " | -40D.C.O | 168 | 117.5 | 81 | 84.5 | 33 | 65 | 76 | 55 | - | - | 2.1 | 2D 3D |
| " | -50D.C.O | 186.5 | 128.5 | 92 | 92 | 39 | 70 | 89 | 75 | - | - | 3.1 | 2D 3D |
| " | -63D.C.O | 229 | 163.5 | 110 | 110 | 45.5 | 88 | 110 | 87 | - | - | 5.6 | |
| (LX)2FLV | -70D.C.O | 173 | 122.5 | 81 | 84.5 | 33 | 70 | 76 | 69.3 | 58.7 | 6-6.6 | 2.5 | |
| " | -114D.C.O | 201.5 | 143.5 | 92 | 92 | 39 | 85 | 89 | 113.5 | 92.2 | 8-8.5 | 5.0 | |
| (LX)3FLV- | -25D.C.O | 151.5 | 111.5 | 59 | 62 | 24.5 | 60 | 54 | 90 | 70 | 4-10 | 1.8 | |
| " | -40D.C.O | 173 | 122.5 | 81 | 84.5 | 33 | 70 | 76 | 105 | 85 | 4-10 | 3.2 | |
| " | -50D.C.O | 199.5 | 141.5 | 92 | 92 | 39 | 83 | 89 | 120 | 100 | 4-10 | 4.5 | |
| " | -65D.C.O | 241 | 175.5 | 110 | 110 | 45.5 | 100 | 110 | 145 | 120 | 4-12 | 7.4 | |
| ■WITH NW-KF FLANGES 1FLV SERIES |
■WITH CF FLANGES 2FLV SERIES |
■WITH JIS FLANGES 3FLV SERIES |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
| Model No. | A | B | φH | φD | E | F | φJ | K | N-φh | Approximate Weight(kg) |
図面 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1FLV | -16M | 124.5 | 47 | 40 | 43 | 6 | 40 | 30 | - | - | 0.6 | 2D_pdf 3D_pdf |
| " | -25M | 136 | 59 | 54 | 43 | 8 | 50 | 40 | - | - | 1.0 | 2D_pdf 3D_pdf |
| " | -40M | 163 | 81 | 76 | 60 | 15 | 65 | 55 | - | - | 1.6 | 2D_pdf 3D_pdf |
| " | -50M | 176.5 | 92 | 89 | 60 | 20 | 70 | 75 | - | - | 2.3 | 2D_pdf 3D_pdf |
| " | -63M | 204.5 | 110 | 110 | 60 | 25 | 88 | 87 | - | - | 4.1 | |
| 2FLV | -70M | 168 | 81 | 76 | 60 | 15 | 70 | 69.3 | 58.7 | 6-6.6 | 2.1 | |
| " | -114M | 191.5 | 92 | 89 | 60 | 20 | 85 | 113.5 | 92.2 | 8-8.5 | 4.2 | |
| 3FLV | -25M | 146 | 59 | 54 | 43 | 8 | 60 | 90 | 70 | 4-10 | 1.6 | |
| " | -40M | 168 | 81 | 76 | 60 | 15 | 70 | 105 | 85 | 4-10 | 2.7 | |
| " | -50M | 189.5 | 92 | 89 | 60 | 20 | 83 | 120 | 100 | 4-10 | 3.8 | |
| " | -65M | 216.5 | 110 | 110 | 60 | 25 | 100 | 145 | 120 | 4-12 | 5.8 | |
